Anno meg Magyarorszagon is vizsgaltak a rontgen litografiat, mukodik, csak draga es ionizalo sugarzassal sokkal nehezebb dolgozni. Raadasul tobb reteg eseten nem nagyon hasznalhato, mert a folso reteg besugarzasa karositja az alatta levo, mar kesz felvezeto retegeket. A neutronsugarzast hasznalo megoldasok jok lehetnek, de azok tenyleg dragak es nehezen maszkolhatoak. A kozvetlen, iranyitott proton sugarzas is jo, de azzal ugy lehet csak rajzoni mint egy katodsugarcsovel, tehat tomeggyartasra nem jo. Ket evtizede volt egy ilyen rendszer a muegyetemen kutatasi celra.
ps: A tajvani eroltetett fejlesztes celja az, hogy olyan technologiaik legyenek, amik masnak nem, igy az USA es a nyugati vilag ra legyen kenyszerulve, hogy megvedje oket a kommunista Kinaval szemben.